发明人：姜洪刚;佟华宇;丁炳哲;宋启洪;胡壮麒。申请日： 1993-05-29。公开日：1994-12-07

一种金属碳化物纳米晶的制备方法,适合于难熔金属如钛、铌、钽、钼、钨,其特征在于工艺过程和参数如下：用机械泵和扩散泵将真空抽到10^－5—10^－6Torr；充氩气；用纯难熔金属作靶,靶极距50～80mm,无外界加热和冷却,直接溅射沉积。本发明工艺简单易行。